Рассматривается алгоритм идентификации для систем, измеряющих геометрические характеристики поверхности, при наличии детерминированных возмущений, действующих на измерительный датчик. Решение данной проблемы разбивается на две подзадачи: синтез алгоритма управления с использованием нелинейного компенсатора и синтез алгоритма идентификации с использованием принципов динамической компенсации. Нелинейный компенсатор базируется на интегральной обратной связи с использованием функции знака. Синтезированный нелинейный компенсатор обладает высокой степенью подавления внешних возмущений с ограниченной первой производной. Приводятся результаты компьютерного моделирования, показывающие эффективность предложенного подхода.